温度控制系统
中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司座落于辽宁省沈阳市浑南新区新源街1号，公司创立于1958年，多年来，公司专注于高真空、超高真空、洁净真空技术的研究和发展，是我国集成电路装备和真空仪器设备的研制、生产基地，先后组建“国家分子束外延技术试验基地”、“国家多功能电子能谱仪生产基地”、“国家真空仪器装置工程技术研究中心”和“真空技术装备国家工程实验室”等科研平台。
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